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J-GLOBAL ID：200903019296788145

不等間隔回折格子

Inventor： 石井 哲也
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991312655
Publication number (International publication number)：1993150107
Application date： Nov. 27, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】製造装置による最小描画寸法の制限の下で、回折効率を向上させることである。【構成】不等間隔回折格子による回折型レンズの最外周付近の狭い格子間隔Pbで、格子を4段の階段形状で略鋸歯形状に形成する。中心付近の比較的広い格子間隔Paで、格子を8段の階段形状で略鋸歯形状にするが、最小加工寸法は格子間隔Pbの階段幅より大きい。【効果】階段数を多くした格子領域の回折効率を向上でき、レンズ全体の回折効率の向上と有害光の減少を達成できる。現在の微細加工技術の下で、不等間隔回折格子の性能と回折格子の設計の自由度を向上できる。

Claim (excerpt)：

階段形状によって鋸歯形状に近似させた格子断面を有する不等間隔回折格子において、少なくとも2か所の前記格子領域で階段形状の段数が互いに異なることを特徴とする不等間隔回折格子。