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J-GLOBAL ID：200903019310986710

像面測定装置

Inventor： 野口 正人 ,  飯塚 隆之
Applicant, Patent owner： 旭光学工業株式会社
Agent (1)： 三浦 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994062922
Publication number (International publication number)：1994347368
Application date： Mar. 31, 1994
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】レンズにより形成される像面の傾きを簡単かつ迅速に検出できる像面測定装置を提供すること。【構成】被測定レンズ17に測定光束を照射する測定光源11と、被測定レンズ17の前に配置され、前記測定光源11から発した測定光束を回折させる回折格子15と、前記被測定レンズ17の焦点位置またはその近傍に配置され、前記回折格子15で回折して被測定レンズ17を透過した回折光を反射する基準反射面19と、この基準反射面19で反射され、前記被測定レンズ17、前記回折格子15を介して合成された異なる次数の回折光により形成される干渉縞を受光して画像データに光電変換する撮像素子31と、前記回折格子35を移動させて上記撮像素子31の干渉縞の位相をシフトさせる回折格子移動装置29と、この撮像素子31が光電変換した画像データに基づいて上記被測定レンズ17の像面の状態を測定する画像処理装置33と、を備えたこと。

Claim (excerpt)：

被測定レンズに測定光束を照射する測定光源と、被測定レンズの前に配置され、前記測定光源から発した測定光束を回折させる回折格子と、前記被測定レンズの焦点位置またはその近傍に配置され、前記回折格子で回折して被測定レンズを透過した回折光を反射する基準反射面と、この基準反射面で反射され、前記被測定レンズ、前記回折格子を介して合成された異なる次数の回折光により形成される干渉縞を受光して画像データに光電変換する受光手段と、前記受光手段が光電変換した画像データに基づいて上記被測定レンズの像面の状態を測定する測定手段と、前記回折格子を移動させて上記受像手段上の干渉縞の位相をシフトさせる回折格子移動手段と、を備えたことを特徴とする像面測定装置。