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J-GLOBAL ID:200903019323999668

分子配向膜の製造方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 塩出 真一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994331095
Publication number (International publication number):1996158044
Application date: Dec. 07, 1994
Publication date: Jun. 18, 1996
Summary:
【要約】【目的】 レーザーアブレーション(飛翔)による有機薄膜作製とともに、磁力を印加し、薄膜を構成する有機分子の配列を制御する分子配向膜の製造方法及び装置を提供する。【構成】 反応チャンバー14内に固体の原料有機化合物16を配置するとともに、反応チャンバー14内に磁力を印加し、この反応チャンバー14内を排気して減圧状態にした後、レーザーを原料有機化合物16に照射し有機分子を励起・活性化させて、有機分子を飛び出させ、原料有機化合物16の対面に配置した基板20上に、励起された有機分子を析出させて薄膜を作製するとともに、薄膜を構成する有機分子の配列を磁力により制御して、分子配向膜26を製造する。
Claim (excerpt):
反応チャンバー内に固体の原料有機化合物を配置するとともに、反応チャンバー内に磁力を印加し、この反応チャンバー内を排気して減圧状態にした後、レーザーを原料有機化合物に照射し有機分子を励起・活性化させて、有機分子を飛び出させ、原料有機化合物の対面に配置した基板上に、励起された有機分子を析出させて薄膜を作製するとともに、薄膜を構成する有機分子の配列を磁力により制御することを特徴とする分子配向膜の製造方法。
IPC (4):
C23C 14/28 ,  C08J 5/18 ,  G02F 1/35 504 ,  C09K 3/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭60-086266
  • 特開平1-096365

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