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J-GLOBAL ID：200903019341150203

インクジェット記録装置とその製造方法

Inventor： 神野 伊策 ,  藤井 覚 ,  高山 良一 ,  鎌田 健
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997095491
Publication number (International publication number)：1998286953
Application date： Apr. 14, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 インクジェット記録装置の解像度を向上させるために必要な多素子化を鉛系誘電体薄膜を用いた圧電素子を用いて実現した。薄膜形成プロセスを用いてPZT等の鉛系誘電体を高い圧電特性を維持したまま薄膜化するため、それらを微細加工することにより多素子化が容易に行うことができ、低電圧でインク吐出能力の良いインクジェット記録装置用圧電素子を形成することができる。【解決手段】 rfスパッタ法により形成したPZT薄膜を用いた圧電素子3を有し、さらに薄膜状の振動板4を圧力室1の上壁に形成した。

Claim (excerpt)：

インク液体を吐出させて文字および図形を記録するインクジェト記録装置において、インクを吐出させる圧力印加手段を圧力室に形成した振動板と、その振動板を振動させるための、鉛を含有したペロブスカイト型誘電体薄膜で形成したものを圧電部材とする圧電素子を有することを特徴とするインクジェット記録装置。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 電界アシスト型圧電方式インクジェットプリンターヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-112140   Applicant：株式会社リコー
• 圧電体薄膜素子及びその製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット記録ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-250863   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• インクジェット記録ヘッド、及び製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-269190   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• インクジェットヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-177412   Applicant：株式会社村田製作所
• インクジェットヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-172619   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• インクジェットヘッドおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-311000   Applicant：シャープ株式会社
• インクジェットヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-283175   Applicant：セイコーエプソン株式会社