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J-GLOBAL ID:200903019344809885

微小粒子の配置方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification:再公表公報
Application number (International application number):JP2006305993
Publication number (International publication number):WO2006104048
Application date: Mar. 24, 2006
Publication date: Oct. 05, 2006
Summary:
微小粒子の配置技術であって、液中で多種類の微小粒子を高精度、高密度、高速に配置することが可能な配置技術の提供。本発明の配置方法は、微小粒子固定面を有し、これに前記微小粒子3が固定化されたソース基板1、及び前記微小粒子3の配置対象となる微小粒子配置面を有するターゲット基板2の2つの基板を準備する基板準備工程と、前記ソース基板1と前記ターゲット基板2とを、前記微小粒子固定面と前記微小粒子配置面とが対面する状態で液層4を介して対置する基板配置工程と、前記微小粒子3を前記微小粒子固定面から分離させる微小粒子分離工程と、微小粒子3にかかるソース基板からターゲット基板方向への力により、分離した前記微小粒子3を前記微小粒子配置面に配置する微小粒子配置工程とを含み、前記微小粒子分離工程において、微小粒子3の固定面からの分離が、レーザー照射5で誘起される物理的な力6や化学的な力により行われる。
Claim (excerpt):
微小粒子の配置方法であって、 微小粒子固定面を有するソース基板であって前記微小粒子固定面に前記微小粒子が固定化されたソース基板、及び、前記微小粒子の配置対象となる微小粒子配置面を有するターゲット基板の2つの基板を準備する基板準備工程と、 前記ソース基板と前記ターゲット基板とを前記微小粒子固定面と前記微小粒子配置面とが対面する状態で液層を介して対置する基板配置工程と、 前記微小粒子を前記微小粒子固定面から分離させる微小粒子分離工程と、 微小粒子にかかるソース基板からターゲット基板方向への力により分離した前記微小粒子を前記微小粒子配置面に配置する微小粒子配置工程とを含み、 前記微小粒子分離工程において、微小粒子の固定面からの分離が、レーザー照射で誘起される物理的な力及び化学的な力の少なくとも一方により行われる微小粒子の配置方法。
IPC (4):
G01N 1/28 ,  C12N 5/06 ,  C12M 1/00 ,  G01N 37/00
FI (4):
G01N1/28 J ,  C12N5/00 E ,  C12M1/00 A ,  G01N37/00 102
F-Term (20):
2G052AA33 ,  2G052AD09 ,  2G052AD29 ,  2G052CA07 ,  4B029AA03 ,  4B029AA08 ,  4B029BB11 ,  4B029BB13 ,  4B029BB15 ,  4B029CC02 ,  4B029CC03 ,  4B029CC07 ,  4B029DF10 ,  4B029DG10 ,  4B029EA20 ,  4B065AA90X ,  4B065AA95X ,  4B065BD39 ,  4B065BD42 ,  4B065CA44

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