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J-GLOBAL ID：200903019358102130

単分散性共重合体及びその製造方法

Inventor： 渡辺 修 ,  山田 素行
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 滝田 清暉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992245548
Publication number (International publication number)：1994065333
Application date： Aug. 21, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、新規な単分散性共重合体、及びその製造方法を提供すること。【構成】下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体、及びその製造方法。【化1】【化2】但し、化1式中、Rは水素原子又はメチル基である。

Claim (excerpt)：

下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体;【化1】【化2】化1式中、Rは水素原子又はメチル基である。

IPC (4)：

C08F297/02 MRD ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027