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J-GLOBAL ID：200903019361248510

マイクロコンタクト・プリンティングによるパターン化されたインジウム亜鉛酸化物フィルムおよびインジウムすず酸化物フィルムの形成方法

Inventor： トリシア・エル・ブリーン ,  ペータ・フライヤ ,  ロナルド・ウェイン・ヌネス ,  メアリ・エリザベス・ロズウェル
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
Agent (1)： 坂口 博 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001117072
Publication number (International publication number)：2002060979
Application date： Apr. 16, 2001
Publication date： Feb. 28, 2002
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、概ね誘導および表面のパターン化に関し、マイクロコンタクト・プリンティングを用いる金属酸化物に自己集合分子単一層の形成方法およびこれらにより製造された誘導体物体を提供する。【解決手段】 本発明は、マイクロコンタクト・プリンティングおよびエッチングによりIZOまたはITOのパターン化されたフィルムを形成する方法を提供する。この方法は、スタンプとIZOまたはITOフィルムの表面とを接触させ、第1のパターンの分子種の自己集合単分子層を転写させることを含む。自己集合単分子層は、第2のパターンのIZOまたはITOフィルム表面の露光される部分に連続している。IZOまたはITOフィルムは、IZOまたはITOと化学的に反応し、自己集合単分子層については不活性であるエッチャントと、IZOまたはITOフィルムの露光された部分とを接触させることにより、第2のパターンにしたがって、下側の基板から除去される。

Claim (excerpt)：

金属酸化物表面をパターン化する方法であって、a)金属酸化物でコーティングされた基板を与える段階と、b)少なくとも1つの凹部を有する実質的に連続する表面を持つスタンプを与える段階と、c)前記金属酸化物表面と反応可能な官能基を末端とする分子種で前記スタンプをコーティングし、前記官能基と前記金属酸化物表面との間に結合を形成する段階と、d)前記金属酸化物表面の少なくとも一部に前記官能基が接触して反応するように前記金属酸化物の表面に前記コーティングされたスタンプを配置し、前記官能基と前記金属酸化物表面との間に結合を形成する段階と、e)前記金属酸化物の表面から前記スタンプを除去し、前記分子種の前記官能基と前記金属酸化物との反応生成物を含む自己集合単分子層を得る段階と、を含む金属酸化物表面をパターン化する方法。

IPC (5)：

C23C 30/00 ,  C01G 15/00 ,  C01G 19/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  B41K 3/00

FI (5)：

C23C 30/00 E ,  C01G 15/00 B ,  C01G 19/00 A ,  G02F 1/1333 500 ,  B41K 3/00 Z

F-Term (11)：

2H090JA06 ,  2H090JC07 ,  2H090LA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA12 ,  4K044AA16 ,  4K044AB10 ,  4K044BA12 ,  4K044BA19 ,  4K044BB04 ,  4K044BB10