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J-GLOBAL ID：200903019364852132
超精密加工機
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石田 喜樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992155867
Publication number (International publication number)：1993318287
Application date： May. 21, 1992
Publication date： Dec. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ワークの実形状をオンマシンで迅速かつ正確に測定し、その測定データに基づき加工誤差をインプロセス制御により補正して加工精度を向上する。【構成】 超精密加工旋盤のX軸テーブル5上に、振動及び案内面の移動真直度の影響を受けにくいレーザ干渉計9を設置する。レーザ干渉計9により加工中におけるワーク12の加工面形状を測定し、その測定データをプロセッサ16を介してNC制御装置19に出力する。NC制御装置19は測定データに基づき加工誤差補正データを作成して、主軸台6を駆動するサーボモータ7及び刃物台8を駆動するサーボモータ10を制御する。
Claim (excerpt)：
ワークの形状を測定するために加工機上に設置されたレーザ干渉計と、前記レーザ干渉計の測定データに基づきワークの加工誤差を補正するNC制御装置とを具備することを特徴とする超精密加工機。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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