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J-GLOBAL ID：200903019378898615

空間分解式変調示差分析の方法及び装置

Inventor： マイケル・リーディング
Applicant, Patent owner： ティーエイ・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993124269
Publication number (International publication number)：1995286981
Application date： May. 26, 1993
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 少なくとも2つの相から成る均質な試料の空間的に分解された特性付けされた画像を得る装置及び方法を提供すること【構成】 試料(11)表面上で走査される熱電対プローブ(13)を用い、基準物(12)に対するこの熱電対プローブ(13)の下の試料(11)の領域の示差温度が得られる。試料(11)及び基準物(12)の温度が、試料の1つの相に対する変化温度の上下で変調され、熱電対プローブ(13)からの信号をデコンボリュートして、その相を有する試料の領域の輪郭を描く試料の画像が得られる。

Claim (excerpt)：

a)試料物質の駆動変数を制御する手段と、b)変調関数と変調周波数と変調振幅と変調値とを、前記駆動変数に対して選択する手段と、c)前記駆動変数を、前記駆動変数の変調値における前記選択した変調関数と変調周波数と変調振幅とに従って変調する手段と、d)基準物に対する、前記試料物質の局所的領域における特性付け物理的パラメータの空間的に分解された(spatially resolved)示差変化を検出するプローブ手段と、e)前記試料に亘って前記プローブ手段を走査する手段と、f)前記手段上の前記プローブの位置の関数として、前記特性付け物理的パラメータの示差変化を表す信号を記録する手段と、g)前記信号をデータとして記憶する手段と、h)前記データをデコンボリュートして、前記試料の特性付けされた画像を得る手段と、から成る空間分解式変調示差分析装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-287246
  
• 特開平3-006422
  
• 特開平2-216749