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J-GLOBAL ID：200903019381515778

イオンビーム加工観察装置

Inventor： 広瀬 博 ,  小池 英己 ,  有馬 義雄 ,  石谷 亨
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997003600
Publication number (International publication number)：1998199466
Application date： Jan. 13, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】TEM-FIB共用ホルダを用いる加工とウエハ加工では従来試料微動装置を交換していたが交換作業に時間がかかり、重量物の運搬を伴うので危険が伴い、交換に伴い設定位置の再設定が必要であった。【解決手段】対応するステージをイオンビーム軸と同軸に配置し、両ステージの間に集束レンズ4を配置した。下側のステージ上の試料13を処理する場合はサイドエントリーステージ19のホルダを引き抜き更にレンズ条件を変える。

Claim (excerpt)：

荷電ビーム軸上に第1の試料微動装置と第2の試料微動装置を備え荷電ビームのレンズ条件を変えることにより第1及び第2の試料微動装置上の試料の加工又は観察が可能であることを特徴とするイオンビーム加工観察装置。

IPC (3)：

H01J 37/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/26

FI (3)：

H01J 37/30 Z ,  H01J 37/20 C ,  H01J 37/26