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J-GLOBAL ID：200903019391899698

リソグラフィー用リンス液

Inventor： 原田 庸一郎 ,  脇屋 和正 ,  小林 政一 ,  田中 初幸 ,  中山 寿昌
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993086972
Publication number (International publication number)：1994273940
Application date： Mar. 23, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【構成】 (A)エチレンカーボネートやプロピレンカーボネートと、(B)水溶性界面活性剤と、場合により用いられる(C)水混和性有機溶剤及び水とから成るリソグラフィー用リンス液である。【効果】 引火点が高く、防災上や貯蔵上の問題がなくて取り扱いやすい上、金属回路パターンの腐食を防止し、かつリンス効果が高く、リソグラフィー法により半導体デバイスなどを製造する場合に好適に用いられる。

Claim (excerpt)：

(A)エチレンカーボネート及びプロピレンカーボネートの中から選ばれた少なくとも1種と、(B)水溶性界面活性剤とから成るリソグラフィー用リンス液。

IPC (2)：

G03F 7/32 501 ,  H01L 21/027