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J-GLOBAL ID:200903019410617607

平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパ及び平板型マイクロレンズアレイの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小山 有
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997289517
Publication number (International publication number):1999123771
Application date: Oct. 22, 1997
Publication date: May. 11, 1999
Summary:
【要約】【課題】 平板型マイクロレンズアレイの成形時に余分な高屈折樹脂が食み出すことがないスタンパを提供する。【解決手段】 成形面にレンズ部を成形する凹部群2を形成するとともに全周に外端まで続く落し込み部3を形成しこれをスタンパ1とする。次いで、離型剤4を塗布した成形面の上に、高屈折樹脂5を塗布し、ガラス基板6を前記高屈折樹脂5に押し付けて展開する。この操作により、高屈折樹脂5は凹部群2内に充填されるとともに、余分な高屈折樹脂5は落し込み部3内に収納され、外部には食み出さない。
Claim (excerpt):
多数の凹部群に高屈折率樹脂を塗布した後、その上に平板状のガラス基板を接合し、樹脂を凹部群とガラス基板間に展開して硬化せしめるとともに剥離することによって、ガラス基板表面に塗布した高屈折樹脂材料を多数の凸部群に成形せしめる平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパにおいて、このスタンパの成形面にはレンズ部を成形する凹部群が転写若しくはエッチングによって形成され、更にスタンパの成形面のレンズ部外周には前記凹部と略同一深さで少なくとも前記ガラス基板が接合される領域の外側まで続く落し込み部が転写若しくはエッチングによって形成されていることを特徴とする平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパ。
IPC (2):
B29D 11/00 ,  G02B 3/00
FI (2):
B29D 11/00 ,  G02B 3/00 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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