欠陥検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺望稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999237917
Publication number (International publication number)：2001059795
Application date： Aug. 25, 1999
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】光学的欠陥検査の対象となる被検査フィルムを透過した透過光の輝度値から被検査フィルムの光学的欠陥を検査する際に、視角によって変化する被検査フィルムの正常な部分の輝度値を背景明度として含むことなく、シュリーレン欠陥の欠陥部分に起因する輝点の輝度値のみを正確に測定することのできる欠陥検査装置を提供することを課題とする。【解決手段】被検査フィルムと平行に配置する一対の偏光子と、この一対の偏光子のうち一方の偏光子の外側から偏光子を介して被検査フィルムを投光する照明手段と、他方の偏光子の外側に配置し、被検査フィルムから透過した透過光を偏光子を介して受光する受光手段と、被検査フィルムと前記一対の偏光子の一方との間に被検査フィルムに平行に配置するネマティック液晶を挟持した液晶セルからなる光学補償フィルターとを備える光学補償フィルター付き欠陥検査装置によって前記課題を解決する。

Claim (excerpt)：

光学的欠陥を検査する被検査フィルムのフィルム面の両側に被検査フィルムと平行に配置する一対の偏光子と、この一対の偏光子間の外側に配置し、この一対の偏光子の一方の偏光子を介して被検査フィルムを投光する照明手段と、前記一対の偏光子間の外側の、前記照明手段の配置位置の反対側に配置し、前記照明手段によって投光されて被検査フィルムから透過した透過光を他方の偏光子を介して受光する受光手段と、2枚の電極基板間に棒状型液晶化合物であるネマティック液晶を挟持した液晶セルからなる液晶フィルターであり、被検査フィルムと前記一対の偏光子の一方の間に被検査フィルムに平行に配置する光学補償フィルターとを備え、前記受光手段により前記被検査フィルムから透過した被検査フィルムの欠陥部分を含む透過光の輝度信号を得ることによって被検査フィルムの光学的欠陥を検査する欠陥検査装置。

IPC (6)：

G01M 11/00 , B65H 43/04 , G01B 11/30 , G01N 21/958 , G02B 5/30 , G02F 1/13 505

FI (6)：

G01M 11/00 T , B65H 43/04 , G01B 11/30 Z , G01N 21/958 , G02B 5/30 , G02F 1/13 505

F-Term (52)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC02 , 2F065DD09 , 2F065EE00 , 2F065FF02 , 2F065FF49 , 2F065FF65 , 2F065GG24 , 2F065HH10 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL21 , 2F065LL33 , 2F065PP02 , 2F065PP13 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ28 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA41 , 2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051AB20 , 2G051BA11 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051CC20 , 2G051EA25 , 2G086EE05 , 2G086EE10 , 2H049BA02 , 2H049BA06 , 2H049BB03 , 2H049BC23 , 2H088FA11 , 2H088GA02 , 2H088JA12 , 2H088KA07 , 2H088MA20 , 3F048AA00 , 3F048AB06 , 3F048BA08 , 3F048DC13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

マトリクス型表示装置に用いられるカラーフィルタの検査装置及び検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-130912 Applicant：シャープ株式会社
光学異方素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-153265 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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