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J-GLOBAL ID：200903019416869527

トリクロロモノシランの製造方法

Inventor： ベルンハルト プフリューグラー ,  ゲルハルト トラウンシュプルガー ,  ヴァルター グリュンライトナー
Applicant, Patent owner： ワツカー-ケミー ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
Agent (5)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005112132
Publication number (International publication number)：2005298327
Application date： Apr. 08, 2005
Publication date： Oct. 27, 2005
Summary：

【課題】トリクロロモノシランを製造する廉価な方法を提供する。【解決手段】流動床反応器中で珪素粒子を塩化水素と反応することによりトリクロロモノシランを製造する方法において、珪素粒子として塊状珪素から決められた珪素粒を製造する際に廃物生成物として生じる珪素ダストを使用し、珪素ダストを直接反応器に導入することを特徴とする。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

流動床反応器中で珪素粒子を塩化水素と反応することによりトリクロロモノシランを製造する方法において、珪素粒子として塊状珪素から決められた珪素粒を製造する際に廃物生成物として生じる珪素ダストを使用し、珪素ダストを直接反応器に導入することを特徴とするトリクロロモノシランを製造する方法。

IPC (1)：

C01B33/107

FI (1)：

C01B33/107 Z

F-Term (6)：

4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH40 ,  4G072JJ14 ,  4G072RR17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

• 米国特許(US-A)第4092446号
  
• ドイツ特許(DE-A1)第3938897号
  
• ドイツ特許(DE-C2)第3239590号
  
• 英国特許第945618号
  
• 米国特許(US-A1)第0151737号
  

Cited by examiner (2)

• 特開昭63-170210
  
• 特開昭54-024832