インクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：木村勝彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993341310
Publication number (International publication number)：1995156399
Application date： Dec. 09, 1993
Publication date： Jun. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】シリコン単結晶基板の異方性エッチングによりスペーサを形成するに際して、エッチング工程と接合工程の簡素化を図ること。【構成】シリコン単結晶の異方性エッチングに使用するエッチング液に耐久性を有し、振動板8の薄肉部37を形成する耐エッチング層が一方の面に形成された結晶方位(110)を有し、スペーサ6の本体となるシリコン単結晶基板を、異方性エッチングして圧力発生室12、13、インク供給口17、18、及びリザーバとなる通孔を形成する。異方性エッチング量は、耐エッチング層で管理されるから安定する。また振動板8とスペーサ6が接着剤レスで、しかもノズルプレート1を接合するだけで流路構成部材を構成できる。

Claim (excerpt)：

シリコン単結晶の異方性エッチングに使用するエッチング液に耐久性を有する耐エッチング層が一方の面に形成された結晶方位(110)を有するシリコン単結晶基板を、異方性エッチングにより圧力発生室、インク供給口、及びリザーバとなる通孔を形成した流路形成部材と、前記圧力発生室に一致したピッチでノズル開口が穿設されたノズルプレートとを接合するとともに、前記圧力発生室を膨張収縮させる圧電振動子を備え、隣接する前記圧力発生室、インク供給口を区画する領域の前記シリコン単結晶基板は、前記ノズル開口側で連続し、また前記リザーバが自由端となるように切り離されており、前記耐エッチング層は、前記圧力発生室に対向する領域に厚肉部からなるアイランド部が形成されて振動板として機能するインクジェット式記録ヘッド。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

インクジェットヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-345341 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開平3-297653
インクジェットヘッド及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-115841 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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