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J-GLOBAL ID：200903019440280739

誘電体多層膜ミラー

Inventor： 奥野 雅史 ,  渡部 明
Applicant, Patent owner： 株式会社光フィジクス研究所
Agent (2)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004204833
Publication number (International publication number)：2006030288
Application date： Jul. 12, 2004
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：

【課題】非常に煩雑な光軸調整作業が必要なく、しかも、分散補償を容易にする。【解決手段】低屈折率薄膜と高屈折率薄膜とを交互に複数層積層した層を誘電体多層膜とし、この多層膜の膜厚を傾斜膜厚とすることにより、2次の群速度分散量を光の当たる場所によって調整できる構成としてある。低屈折率薄膜としてSiO2、高屈折率薄膜としてTa2O5を用いる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

低屈折率薄膜と、該低屈折率薄膜よりも屈折率が高い高屈折率薄膜が交互に積層されて構成された多層膜を基板上に具えており、該多層膜は、積層された面内方向の場所によって、群速度分散に異なる値を与える膜厚で構成されていることを特徴とする誘電体多層膜ミラ-。

IPC (3)：

G02B 5/28 ,  G02B 5/26 ,  H01S 3/139

FI (3)：

G02B5/28 ,  G02B5/26 ,  H01S3/139

F-Term (14)：

2H048FA05 ,  2H048FA09 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA32 ,  2H048GA48 ,  2H048GA51 ,  2H048GA62 ,  5F172AE06 ,  5F172AF07 ,  5F172NN14 ,  5F172NN17 ,  5F172NQ33

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第2754214号公報
  
• 米国特許第5734503号公報