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J-GLOBAL ID：200903019469653399

表面計測装置および表面計測方法

Inventor： 西山 陽二 ,  高橋 文之 ,  布施 貴史 ,  大嶋 美隆 ,  塚原 博之
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000166585
Publication number (International publication number)：2001343221
Application date： Jun. 02, 2000
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 回路構成を複雑にすることなく、物体の所望の視野内における表面形状を一括して計測することができるようにする。【解決手段】 対象物20の表面における所望の視野に、二波長レーザ1から発信された波長がわずかに異なる光を含んだビームを照射する光学系と、物体表面で反射したビームから第2の検光子11で作られるビート光を受光する2次元撮像装置16と、ビート光の周期に対して短い露光時間で撮像を行うように露光タイミングを制御するタイミング発生器15と、各画素位置での撮像出力からビート光の位相を各画素位置ごとに求め、求めた位相から物体表面における高さを各画素位置ごとに求める画像処理装置17とを備えることにより、複数の波長検出回路をアレイ状に配置するなどして構成を複雑にすることなく、対象物20の表面形状を一括して計測することができるようにする。

Claim (excerpt)：

物体の表面の形状を計測する表面計測装置であって、上記物体の表面における所望の視野に波長がわずかに異なる光を含んだビームを照射する光学系と、上記物体の表面で反射したビームから作られるビート光を受光する2次元撮像素子と、上記ビート光の周期に対して短い露光時間で繰り返し撮像を行うように上記2次元撮像素子の露光タイミングを制御するタイミング制御部と、上記2次元撮像素子における各画素位置での撮像出力から上記ビート光の位相を各画素位置ごとに求め、求めた位相から上記物体の表面における高さ情報を各画素位置ごとに求める画像処理部とを備えたことを特徴とする表面計測装置。

IPC (4)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/02 ,  G06T 1/00 315

FI (6)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/02 G ,  G01B 11/02 H ,  G06T 1/00 315 ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K

F-Term (51)：

2F064AA09 ,  2F064FF02 ,  2F064FF06 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG55 ,  2F064GG70 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ05 ,  2F065AA54 ,  2F065DD06 ,  2F065FF49 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065NN06 ,  2F065NN12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS01 ,  2F065SS13 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB13 ,  5B057CB17 ,  5B057DA17 ,  5B057DC02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC30 ,  5B057DC32 ,  5B057DC36