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J-GLOBAL ID：200903019476380438

ベーキング装置およびプリベーク方法

Inventor： 佐藤 善亨
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992304558
Publication number (International publication number)：1994132214
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、ベーキング時のレジスト膜がその膜厚方向に温度勾配を有するように加熱して、レジスト膜の表層に不溶化層を形成することにより、現像処理後のレジストパターンの形状を改善する。【構成】 ベーキング装置10としては、上面側にレジスト膜91を形成したウエハ81を載置してその下面側を一定温度に加熱する第1の加熱手段11と、第1の加熱手段11よりも高い温度でウエハ81を加熱するもので、ウエハ81の上方に設けた第2の加熱手段12とよりなるものである。あるいは、第1,第2の加熱手段(図示せず)の間でウエハ81を支持するウエハ支持部(図示せず)を設けたものである。またプリベーク方法としては、ウエハ81に形成したレジスト膜91の上層側よりその下層側に向かって当該レジスト膜91の温度が低くなる温度勾配が形成される状態に加熱する方法である。

Claim (excerpt)：

上面側にレジスト膜を形成したウエハを載置するとともに当該ウエハの下面側を一定温度に加熱する第1の加熱手段と、前記第1の加熱手段よりも高い温度で前記ウエハを加熱するもので、当該第1の加熱手段上に載置されるウエハの上方に設けた第2の加熱手段とよりなることを特徴とするベーキング装置。

FI (2)：

H01L 21/30 361 H ,  H01L 21/30 361 G