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J-GLOBAL ID：200903019478529315
近接場走査型顕微鏡用プローブ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994231502
Publication number (International publication number)：1996094649
Application date： Sep. 27, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 近接場走査型顕微鏡のプローブはその先端部に到達する光の強度が大きいほど、近接場走査型顕微鏡の分解能が大きくなる。このため、先端部に到達する光の強度がなるべく大きくなるように、先端部に光が到達するまでに、光がプローブの外へ放出したり、プローブ内においてもできるだけ減衰しないで先端部に到達するようにする必要がある。【構成】光源からの光を入射する第1の開口部と、入射した光の波長より直径が小さい開口径を設けた第2の開口部とを遮光物質によって形成されたプローブであって、その遮光物質は金または銅とした。
Claim (excerpt)：
光源からの光を入射する第1の開口部と、該入射した光の波長より直径が小さい開口径を設けた第2の開口部とが遮光物質によって形成されたプローブであって、前記遮光物質が金または銅であることを特徴とする近接場走査型顕微鏡用プローブ。
IPC (2)：
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