Pat
J-GLOBAL ID：200903019484196468
半導体集積回路の検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西教 圭一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993241625
Publication number (International publication number)：1995098354
Application date： Sep. 28, 1993
Publication date： Apr. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 半導体集積回路の入力バッファの閾値電圧およびヒステリシス幅電圧を短時間、かつ高精度に求める。【構成】 テスタコントローラ23から信号バーINITが出力され、各回路が初期化され、次に閾値電圧を求めるための測定モードに設定するための信号MODEが出力される。テスタコントローラ23から信号バーSTARTが出力されると測定が開始され、三角波発生器25から傾きαの直線波形を持つ電圧VIが入力バッファ21に印加される。それに応答して、コンパレータ30は、入力バッファ21の出力電圧VOと論理判定電圧VCとを比較し、一致すれば一致信号COMの電圧がハイレベルになる。時間測定回路31は、測定開始から信号COMの電圧がハイレベルになるまでの時間を測定し、テスタコントローラ23は、傾きαとその時間から閾値電圧を算出する。
Claim (excerpt)：
半導体集積回路の入力バッファの出力電圧がローレベルからハイレベルに遷移する入力電圧である第1閾値電圧、前記入力バッファの出力電圧がハイレベルからローレベルに遷移するときの電圧である第2閾値電圧、および第1閾値電圧と第2閾値電圧との差であるヒステリシス幅電圧を求める半導体集積回路の検査装置において、予め定められた正の傾きを持つ第1直線波形を発生させ、前記入力バッファに出力する波形発生手段と、前記波形発生手段からの入力に応答して入力バッファから出力される電圧と、予め定める論理判定電圧とを比較し、一致したとき一致信号を出力する比較手段と、前記第1直線波形を発生させた時刻から前記比較手段から前記一致信号が出力される時刻までの第1時間を測定する時間測定手段と、前記第1時間と、前記正の傾きを表す値とに基づいて第1閾値電圧を求める演算手段とを含むことを特徴とする半導体集積回路の検査装置。
IPC (2)：
Return to Previous Page
