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J-GLOBAL ID：200903019485082156
アライメント装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995179370
Publication number (International publication number)：1997006017
Application date： Jun. 22, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：
【要約】【目的】 低段差のアライメントマークに対しても高精度な位置検出が可能なアライメント装置を提供すること。【構成】 アライメントすべき基板上に形成されたマークに照明光を照射するための照明光学系と、照明光に対するマークからの反射光に基づいてマーク像を形成するための結像光学系と、マーク像を検出するための像検出手段と、該像検出手段で検出されたマーク像の位置情報に基づいてマークの位置を検出するためのマーク位置検出手段とを備えたアライメント装置において、像検出手段で検出されるマーク像のフォーカス状態を制御するためのフォーカス制御手段をさらに備え、マーク位置検出手段は、第1のデフォーカス状態におけるマーク像の第1位置情報と、第1のデフォーカス状態とは実質的に異なる第2のデフォーカス状態におけるマーク像の第2位置情報とに基づいて、マークの位置を検出する。
Claim (excerpt)：
アライメントすべき基板上に形成されたマークに照明光を照射するための照明光学系と、前記照明光に対する前記マークからの反射光に基づいてマーク像を形成するための結像光学系と、前記マーク像を検出するための像検出手段と、該像検出手段で検出された前記マーク像の位置情報に基づいて前記マークの位置を検出するためのマーク位置検出手段とを備えたアライメント装置において、前記像検出手段で検出される前記マーク像のフォーカス状態を制御するためのフォーカス制御手段をさらに備え、前記マーク位置検出手段は、第1のデフォーカス状態における前記マーク像の第1位置情報と、前記第1のデフォーカス状態とは実質的に異なる第2のデフォーカス状態における前記マーク像の第2位置情報とに基づいて、前記マークの位置を検出することを特徴とするアライメント装置。
IPC (3)：
G03F 9/00
, G03F 9/02
, H01L 21/027
G03F 9/00 H
, G03F 9/02 H
, H01L 21/30 525 W
, H01L 21/30 525 A
Cited by examiner (7)
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