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J-GLOBAL ID：200903019520713016

高いガス収着速度を有するゲッターポンプ

Inventor： アンドレア・コンテ
Applicant, Patent owner： サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
Agent (1)： 倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998287866
Publication number (International publication number)：1999190274
Application date： Oct. 09, 1998
Publication date： Jul. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高いガス収着速度を有するゲッターポンプを提供すること。【解決手段】 このゲッターポンプ(10)は、ほぼ円筒形のチャンバー(12)を画定する金属製ハウジング(11)と、互いに平行に、かつ、チャンバーの軸線に平行に配置された3〜8個のゲッター構造体(13,13’・・・)とから成る。各ゲッター構造体は、中心取付部材(15,15’・・・)によって支持された複数のディスク(14,14’・・・)から成り、それらのゲッター構造体は、該チャンバーの中心の周りに対称的に配列され、ゲッター材を活性化させ、作動させるのに必要なヒーター(16)を収容する中心キャビティ(17)を画定する。このポンプは、同様の寸法の従来のポンプに比して高いガス収着速度を有する。

Claim (excerpt)：

高いガス収着速度を有するゲッターポンプであって、円筒形チャンバー(12)を画定する金属製ハウジング(11)と、各々焼結ゲッター材によって形成され、中心取付部材(15,15’・・・)によって支持された複数の多孔質ディスク(14,14’・・・)から成り、前記チャンバーの軸線に平行に、該チャンバーの中心の周りに対称的に配列された3〜8個のゲッター構造体(13,13’・・・)と、前記チャンバーと同軸に該チャンバーの中心部に配置されたヒーター(16)と、前記ゲッター構造体を排気すべき空間に接続するための、前記ハウジングの壁に形成された開口(19)と、から成るゲッターポンプ。