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J-GLOBAL ID：200903019523361463

感光性樹脂組成物及びその製造方法

Inventor： 佐藤 弘光
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995167078
Publication number (International publication number)：1996339081
Application date： Jun. 09, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【構成】光重合性樹脂と光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物において、前記光重合性樹脂がカルボキシル基含有樹脂とα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物との付加生成化物であって、その酸価が50〜200であることを特徴とする感光性樹脂組成物、及び前記カルボキシル基含有樹脂をエチレン性不飽和酸モノマーとその共重合モノマーとをアルコール性溶媒に溶解し、それを熱重合開始剤の存在下で熱重合し、それにα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物を付加して製造した光重合性樹脂を含有する感光性樹脂組成物の製造方法。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物に要求される耐熱性、耐薬性に優れ、かつ基板との密着性等の各種特性に優れ、しかも水や希アルカリ水溶液による現像が可能であるところから、銅配線パターンのエッチング用レジスト、ドライフィルムレジスト、ソルダレジスト等の多種類の用途に、作業環境及び自然環境に悪影響を与えることなく使用ができる。

Claim (excerpt)：

光重合性樹脂と光重合開始剤とを含有する感光性樹脂組成物において、前記光重合性樹脂がカルボキシル基含有樹脂とα,β-不飽和二重結合及びエポキシ基を有する不飽和化合物との付加生成化物であって、その酸価が50〜200の樹脂であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (2)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/038 503

FI (2)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/038 503