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J-GLOBAL ID：200903019669353586

3次元形状測定装置

Inventor： 本杉 和一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン ,  株式会社ニコンエンジニアリング
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993323471
Publication number (International publication number)：1995181022
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 18, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 影になる部分、細く深い溝状の部分も形状測定する。【構成】 本体基盤1と、回転ステージ2と、回転ステージの回転とは独立して所定の水平方向X及びそれと直角な水平方向Yに移動可能であり、別部材との嵌合部6が設けられたXYステージ3,4と、回転ステージ2及びXYステージ3,4の駆動をそれぞれ独立して制御する駆動制御手段と、XYステージの嵌合部6と嵌合する被嵌合部及び被測定物9,9a,9bとの嵌合部を設けた被測定物保持手段7と、回転ステージの直径方向に移動可能なRステージ11と、Rステージ11の下面に、光軸が回転ステージ2の回転軸14と平行になるように設けられた第1のレーザー変位計10と、回転軸14と平行な方向に移動可能なZステージ13と、Zステージ13の側面に、回転軸14と直交するように設けられた第2のレーザー変位計12と、からなる3次元形状測定装置。

Claim (excerpt)：

少なくとも、本体基盤と、該基盤上に設置された回転ステージと、該回転ステージ上に設置されたXYステージであって、前記回転ステージの回転とは独立して所定の水平方向及びそれと直角な水平方向に移動可能であり、別部材との嵌合部が設けられたXYステージと、前記回転ステージ及びXYステージの駆動をそれぞれ独立して制御する駆動制御手段と、前記XYステージの嵌合部と嵌合する被嵌合部及び、被測定物との嵌合部を設けた被測定物保持手段と、前記被測定物保持手段の上方に配置された水平方向移動ステージであって、前記回転ステージの直径方向に移動可能なRステージと、該Rステージの下面に、光軸が前記回転ステージの回転軸と平行になるように設けられた第1のレーザー変位計と、前記被測定物保持手段の側方に設置された、前記回転軸と平行な方向に移動可能なZステージと、該Zステージの側面に、光軸が前記回転ステージの回転軸と直交するように設けられた第2のレーザー変位計と、からなる3次元形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G12B 5/00