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J-GLOBAL ID：200903019673702862
真空容器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991238387
Publication number (International publication number)：1993103972
Application date： Sep. 18, 1991
Publication date： Apr. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】 高真空化に低コストで対応でき、かつ大きさ当りの重量が少ない真空容器を提供すること。【構成】 2枚の板材3、4の間に波板状のリブ材5を挟んでそれぞれをスポット溶接して構成した構造材2を箱状に接合し、接合部を連続溶接して製造するとともに、放出ガス性能、パーティクル性能および腐食性能がきわめて優れた高価な超清浄高機能ステンレス鋼を内部の板材3にのみ使用する。また、波板5によって区切られた構造材2内部の複数の小空間11を波板5に流通孔12aを設けることにより連通し、真空ポンプによって均等な低圧状態にすることによってリブ材5と板材3との接合を引離す力を低減し、安全性を向上する。
Claim (excerpt)：
複数の板材をリブ材を介して接合してなる構造材により構成されたことを特徴とする真空容器。
Patent cited by the Patent：
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