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J-GLOBAL ID：200903019674658077

反射防止膜およびその製造方法

Inventor： 杉本 敏明 ,  山口 慶和 ,  木田 健児
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 坂本 栄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993188431
Publication number (International publication number)：1995081977
Application date： Jul. 29, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：

【要約】【構成】ガラス基材の両面や片面に、基材側から第1層目として屈折率が1.65〜1.9で光学膜厚が0.15〜0.6λ(λは中心となる波長である)の薄膜、第2層目として屈折率が1.9〜2.3で光学膜厚が0.15〜0.6λの薄膜、最外表層である第3層目として屈折率が1.4〜1.65で光学膜厚が0.2〜0.8λの薄膜を順次積層し3層の光学多層膜で成り、しかも第1層目乃至第3層目の各層膜中に少なくともSiO2 を含有し、最外表層である第3層目がSiO2 、SnO2 及びZrO2 の3成分系でなる反射防止膜。更に第3層目の薄膜が、mol%表示で、SiO2 :SnO2 :ZrO2 =60〜80:10〜1:30〜19でなる反射防止膜。【効果】膜構成が単純で、かつ膜形成用原料薬液のポットライフ(使用可能期間)が充分あるため、生産性、コスト性に優れ、耐摩耗性、耐擦傷性及び耐アルカリ性等耐久性が格段に優れ、今まで使用できなかった広い分野で使用できる。

Claim (excerpt)：

ガラス基材の両面もしくは片面に、基材側から空気側に向って第1層目として屈折率が1.65〜1.9で光学膜厚が0.15〜0.6λ(λは中心となる波長である)の薄膜、第2層目として屈折率が1.9〜2.3で光学膜厚が0.15〜0.6λの薄膜、最外表層である第3層目として屈折率が1.4〜1.65で光学膜厚が0.2〜0.8λの薄膜を順次積層し3層の光学多層膜で成り、しかも前記第1層目乃至第3層目の各層膜中に少なくともSiO2 を含有せしめるとともに、最外表層である第3層目がSiO2 、SnO2 およびZrO2 の3成分系でなることを特徴とする反射防止膜。

IPC (7)：

C03C 17/34 ,  B32B 17/06 ,  B60J 1/00 ,  C03C 17/25 ,  C23C 18/12 ,  G02B 1/10 ,  G02B 1/11

FI (2)：

G02B 1/10 A ,  G02B 1/10