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J-GLOBAL ID：200903019687885463

気体中の不純物濃度の測定装置

Inventor： 溝上 員章
Applicant, Patent owner： 株式会社日本エイピーアイ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995204973
Publication number (International publication number)：1997022680
Application date： Jul. 07, 1995
Publication date： Jan. 21, 1997
Summary：

【要約】【目的】 コロナ放電を用いた気体中の不純物濃度の測定装置において、放電室に圧力制御手段を備え、分析精度を向上させる。【構成】 放電室11にはガス流入口13、ガス流出口14の他に流量制御バルブ23を備えた第2のガス流出口26と圧力検出器22を備え、放電室11の圧力が設定値より高くなった場合には第2のガス流出口26よりガスを排出して圧力を一定に保つようになっている。また、設定値を大気圧以上の高圧に保つことができるようにガス流出口14には絞り23が入っている。

Claim (excerpt)：

測定ガスが通流する放電室と該放電室内に設けられ、かつコロナ放電の放電電流が一定となるようにした高圧定電流電源により印加される放電針及び該放電針と対向して設けられた対向電極と該放電針と対向電極間の電位差を測定する測定手段とを有する気体中の不純物濃度の測定装置において、該放電室内に圧力制御手段を備えることを特徴とする気体中の不純物濃度の測定装置。

IPC (3)：

H01J 49/18 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/68

FI (3)：

H01J 49/18 ,  G01N 27/62 G ,  G01N 27/68 B