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J-GLOBAL ID：200903019693692499

光導波路の製造方法および光送受信装置の製造方法

Inventor： 小川 剛
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999108199
Publication number (International publication number)：2000298221
Application date： Apr. 15, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【課題】 光伝搬方向に対して所定の傾斜角をなす光反射用ミラーを有する光導波路を、簡便、かつ再現性良く形成することができる光導波路の製造方法および光送受信装置の製造方法を提供する。【解決手段】 光硬化性の樹脂層12′の上に、遮光膜24を備えたフォトマスク25を位置合わせする。遮光膜24には、開口24aおよび傾斜面24bが設けられている。傾斜面24bの領域は、遮光膜24の徐々に変化する厚さに応じた量の光を透過させるグレースケール領域として機能する。そののち、光L1 を照射すると、傾斜面24bの直下領域においては、遮光膜24の厚さに応じて透過光量が制御されながら樹脂層12′に到達する。従って、樹脂層12′の未硬化状態の部分を溶解除去すると、光導波路コアの両端部に透明基板11の表面となす外角がほぼ45°である傾斜面により構成された光反射用ミラーが形成される。

Claim (excerpt)：

基板上に、光を伝搬可能に配設されると共に、少なくとも一端に光伝搬方向に対して所定の傾斜角をなす光反射用ミラーを有する光導波路の製造方法であって、前記基板を支持基体として、光硬化性樹脂を塗布する工程と、前記光伝搬方向に沿って透過光量を漸次変化させることが可能なパターンを有するマスクを、前記塗布された光硬化性樹脂の上に配置する工程と、前記マスクを介して前記光硬化性樹脂を選択的に露光することにより、その露光領域を硬化させる工程と、前記光硬化性樹脂のうちの未硬化部分を除去することにより、前記光反射用ミラーを有する光導波路を形成する工程とを含むことを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (5)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/122 ,  G02B 6/42 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 33/00

FI (5)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/42 ,  H01L 33/00 M ,  G02B 6/12 A ,  H01L 31/02 C

F-Term (23)：

2H037AA01 ,  2H037BA02 ,  2H037BA11 ,  2H037CA39 ,  2H047KA04 ,  2H047KA05 ,  2H047LA09 ,  2H047MA07 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047RA00 ,  2H047TA44 ,  5F041AA42 ,  5F041EE25 ,  5F041FF14 ,  5F088AA01 ,  5F088BB01 ,  5F088HA09 ,  5F088JA14