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J-GLOBAL ID：200903019697713717

気体分析装置およびその分析方法および気体採取装置

Inventor： 長谷 潮
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995024871
Publication number (International publication number)：1996054380
Application date： Feb. 14, 1995
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【構成】 吸収液の流路切替バルブ17と試料導入バルブ11を非循環流路に設定し、気体透過膜チューブを内管に有する拡散スクラバー1の内管に試料気体を、外管と内管の間隙に試料気体を吸収する吸収液を通過させ、気体成分と吸収液とを平衡にする。平衡後、バルブ17、11を循環流路に切り替え、気体成分を吸収した吸収液を濃縮カラム14に通液し、分析成分を吸着濃縮させる。再びバルブ17、11を非循環流路に切り替え、上記濃縮成分を溶離しイオンクロマトグラフ30により定量する。上記操作を繰り返すことにより、所定時間毎の測定を行う。【効果】 循環流路で分析成分を吸着濃縮させるため検出下限を下げられ、洗浄雰囲気中の揮発性不純物成分を高感度に測定できる。

Claim (excerpt)：

分析対象気体を、気体透過膜チューブを内部に有する拡散スクラバーに通し、吸収液中に吸収し捕捉する気体採取装置であって、気体のみを透過する気体透過膜チューブで作製される内管と、内部に前記内管が挿入された外管とから構成され、一組のジョイントによって前記内管と前記外管を両端で保持し、前記内管内部に通ずる接続口と前記内管と前記外管の間隙に通ずる接続口とをそれぞれ管の両端に有し、前記内管内あるいは前記内管と前記外管の間隙のいずれかの流路を前記吸収液の流路とし、他方の流路を前記分析対象気体の流路とする拡散スクラバーと、前記拡散スクラバーの吸収液流路の上流側に接続され、前記拡散スクラバーに前記吸収液を送液するための送液ポンプと、前記拡散スクラバーの吸収液流路の下流側に接続され、少なくとも1つの四方バルブあるいは四方バルブと同等の機能を有する流路切替バルブと、前記流路切替バルブの接続口のうち、前記拡散スクラバーの吸収液流路との接続に使用されるバルブ接続口とは別のバルブ接続口に接続される気密性の吸収液貯留容器とから構成され、前記流路切替バルブの切替により、前記吸収液流路が、前記流路切替バルブと前記送液ポンプと前記拡散スクラバーとが循環の流路を形成する循環流路に、あるいは前記吸収液貯留容器と前記流路切替バルブと前記送液ポンプと前記拡散スクラバーとが非循環の流路を形成する非循環流路に設定されることを特徴とする気体採取装置。

IPC (4)：

G01N 30/04 ZAB ,  G01N 1/22 ,  G01N 30/08 ,  G01N 30/24