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J-GLOBAL ID：200903019737484112

ガラス表面処理液及び処理方法

Inventor： 丸子 洋一郎 ,  瀬川 徹 ,  佐藤 龍弘
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 石原 詔二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000148550
Publication number (International publication number)：2001335342
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Dec. 04, 2001
Summary：

【要約】【課題】ムラのない均一な凹凸を作ることができ、刺激臭がなく、濃度管理が容易で冬季の扱いも簡易な新規なガラス表面処理液及びこのガラス表面処理液を用いることによってムラのない均一な凹凸を効率よく作ることができるようにしたガラス表面処理方法を提供する。【解決手段】フッ化水素と、フッ化アンモニウムと、炭素を3〜7個有する親水性カルボン酸の1種類又は2種類以上と、を水に混合するようにした。

Claim (excerpt)：

フッ化水素と、フッ化アンモニウムと、炭素を3〜7個有する親水性カルボン酸の1種類又は2種類以上と、を水に混合することを特徴とするガラス表面処理液。

IPC (4)：

C03C 15/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/22

FI (4)：

C03C 15/00 B ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/22 501 D

F-Term (5)：

4G059AA20 ,  4G059AC01 ,  4G059BB04 ,  4G059BB17 ,  5F045BB15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-255402
  
• エッチング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-027834   Applicant：エスイーゼットセミコンダクター-イクイプメントツベヘーアフュアジハルブライターフェルティグングアーゲー