Pat
J-GLOBAL ID：200903019739747609
超精密回転装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998118880
Publication number (International publication number)：1999311511
Application date： Apr. 28, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 本発明は、非常に微細な物体の形状測定,形状創成等に使用される超精密回転装置に関し、回転精度を従来より大幅に向上することを目的とする。【解決手段】 ローターと、前記ローターを中心軸を中心にして回転自在に支持する第1の電磁石と、前記ローターを中心軸を中心にして回転するための回転手段と、前記ローターの両端面の中心に配置される中心検出用部材と、前記ローターの両側に配置され前記中心検出用部材を観察するための走査型プローブ顕微鏡とを備えてなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ローターと、前記ローターを中心軸を中心にして回転自在に支持する第1の電磁石と、前記ローターを中心軸を中心にして回転するための回転手段と、前記ローターの両端面の中心に配置される中心検出用部材と、前記ローターの両側に配置され前記中心検出用部材を観察するための走査型プローブ顕微鏡と、を備えてなることを特徴とする超精密回転装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 Z
, F16C 32/04 Z
