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J-GLOBAL ID：200903019741621477

微小真空紫外分光装置

Inventor： 鈴木 健一郎
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994060441
Publication number (International publication number)：1995272899
Application date： Mar. 30, 1994
Publication date： Oct. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】物質と強く相互作用するために物質表面を計測するのに適した真空紫外光(λ=〜2000オングストローム)は雰囲気中の酸素に強く吸収されるために光の通路を高真空にする必要がある。本発明は、高真空で真空紫外光を容易に利用するための光源および分光測定装置を提供することを目的とする。【構成】真空紫外光を発生する光源および光学部品(ミラー、回折格子、スリット等)を中空のシリコン基板内部に作製し、光を取り出す窓を側面に設けた分光器。

Claim (excerpt)：

荷電粒子発生源および電極を中空のシリコン基板内に設け、シリコン基板の上下に配置された磁石の磁界と当該電極に印加する電圧を制御することによって当該荷電粒子をシリコン基板内に設けた中空の中を加速運動させることにより短波長光を発生させる光源と、当該短波長光の進路を変更するミラーおよび波長を選択する回折格子等の光学部品をシリコン基板内に設け、真空ポンプによって当該シリコン基板の内部を真空にしたことを特徴とする微小真空紫外分光装置。

IPC (4)：

H05H 13/04 ,  G01J 3/10 ,  G21K 1/06 ,  H05H 13/00