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J-GLOBAL ID：200903019776779502
干渉計用基準板装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川野 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994253250
Publication number (International publication number)：1996122012
Application date： Oct. 19, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】 基準板本体の両面を反射率の異なる2つの基準面として使用し得るようこの基準板本体を干渉計本体に着脱可能とすることにより、基準板の保管スペースを削減し、スペース確保に要するコストを低減する。【構成】 この基準板本体9は緩衝材12を介して円筒形状の鏡胴(取付部材)13に保持されており、この鏡胴13の外表面に形成された雄ネジ部13bを干渉計装置の外壁15の下端部に形成された雌ネジ部15aに螺合することにより基準板本体9を所定位置に固定保持できるようになっている。2つの基準面9a,9bは互いに異なる反射率を有する平面であって、緩衝縞のコントラストを確保するため被検面10aの反射率に応じてオペレータが適宜いずれかの基準面9a,9bを選択できるようになっている。
Claim (excerpt)：
表裏両面が互いに異なる反射率を有する面からなる基準板本体と、該基準板本体を保持するとともに、前記2つの面を状況に応じて択一的に基準面として使用し得るように、該基準板本体を干渉計本体の所定位置にセット可能とする取付部材を備えてなることを特徴とする干渉計用基準板装置。
IPC (3)：
G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01B 11/30 102
