レーザ装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：神崎真一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997187689
Publication number (International publication number)：1999026840
Application date： Jun. 27, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【解決手段】放電管2の内部にフロントミラー3とリヤミラー4とからなるレーザ発振器5を配設している。また、放電管2の内部には、相互に対向させて両マウント7,8を設けてあり、それらにの円周方向に沿って、相互に対向するように複数の反射ミラー(M1-M9、M1’-M9’)を設けている。これら複数の反射ミラーによって増幅器6を構成してあり、上記レーザ発振器5で励起したレーザ光線Lは、増幅器6によって出力を増幅される。【効果】レーザ発振器5と増幅器6は実質的に一体に形成されているので、それらを別個に設けていた従来と比較して、レーザ装置1の設置スペースを小さくすることができる。

Claim (excerpt)：

レーザキャビティ内に対向させて配置したフロントミラーおよびリヤミラーを有するレーザ発振器と、このレーザ発振器から放射されたレーザ光線の出力を増幅させる増幅器とを備えたレーザ装置において、上記フロントミラーおよびリヤミラーの軸心を結ぶ仮想の直線を囲繞し、かつ所定距離を隔てて相互に対向させてフロント側反射手段およびリヤ側反射手段を上記レーザキャビティ内に設けて、これらフロント側反射手段とリヤ側反射手段とによって上記増幅器を構成し、上記レーザ発振器から放射されたレーザ光線を上記フロント側反射手段とリヤ側反射手段とによって交互に複数回反射させて増幅させるように構成したことを特徴とするレーザ装置。

IPC (3)：

H01S 3/03 , H01S 3/081 , H01S 3/10

FI (3)：

H01S 3/03 Z , H01S 3/081 , H01S 3/10 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

レーザ発振器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-269107 Applicant：澁谷工業株式会社
特開平4-134890
露光光源用レ-ザ発振装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-200307 Applicant：株式会社東芝

Show all

Return to Previous Page