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J-GLOBAL ID：200903019820952462

研磨装置及び研磨方法

Inventor： 小池 栄二郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998099030
Publication number (International publication number)：1999291165
Application date： Apr. 10, 1998
Publication date： Oct. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】大きな径の被加工物の両面を同時に研磨する場合であっても平面度及び平行度を高精度に保つことができる研磨装置を提供すること。【解決手段】ウエハWの外周縁部を支持するとともに、その中心軸Cを回転中心として回転自在に支持するガイド51a〜51dと、ウエハWを中心軸Cを回転中心として回転駆動する被加工物回転用モータ52と、ウエハWの下面Wbに対向配置されるとともに、ウエハWの径方向に沿って往復動し、かつ、ウエハWの下面Wbに所定力で押圧される下研磨プレート64と、下研磨プレート64とウエハWの下面Wbとの間に配置された研磨布66とを備えるようにした。

Claim (excerpt)：

被加工物を水平にしてその外周縁部を支持するとともに、その中心軸を回転中心として回転自在に支持する支持部と、前記被加工物を前記中心軸を回転中心として回転駆動する回転駆動部と、前記被加工物の被研磨面に対向配置されるとともに、前記被加工物の径方向に沿って往復動し、かつ、前記被加工物の被研磨面に所定力で押圧される研磨プレートと、前記研磨プレートと前記被加工物の被研磨面との間に配置された研磨布とを備えていることを特徴とする研磨装置。

IPC (4)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622

FI (4)：

B24B 37/04 F ,  B24B 37/00 D ,  H01L 21/304 621 A ,  H01L 21/304 622 F