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J-GLOBAL ID：200903019824611813

回転式基板処理装置用の基板回転保持装置

Inventor： 吉岡 勝司 ,  中川 幸治 ,  板羽 昌行 ,  平岡 伸康 ,  武岡 正史
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098752
Publication number (International publication number)：1994291030
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡単な構成で回転の全ての時期において基板の空転を抑制する。【構成】 回転台1が基板Wを回転させるときには、昇降可能な処理液回収カップ8に配設されたリング状磁石20は上方の位置を占め、基板押圧部材11に接近する。このため、永久磁石を内蔵する基板押圧部材11が回動して、その押圧面11aが基板Wの外縁Waに当接しかつ押圧付勢する。リング状磁石20は基板押圧部材11の一端11bの回転軌跡に沿って円周状に配置されているので、基板押圧部材11の回転位置によらずに常に一定の磁力を作用させ得る。更に、磁力の作用は回転台1の回転速度に依存しないので、回転の全ての時期において基板押圧部材11は外縁Waを押圧付勢する。磁力を介して回転台1上の基板押圧部材11を回動させるので、基板押圧部材11を駆動する機構が簡単である。【効果】 簡単な構成で回転の全ての時期において基板の空転を抑制し得る。

Claim (excerpt)：

円形ないし略円形の基板を水平回転し、当該基板の上面に対する所定の処理を行う回転式基板処理装置に用いられる基板回転保持装置であって、(a)水平回転動作を行う回転台と、(b)前記回転台に配置され、前記基板を保持する基板保持部材と、(c)第1の磁性部材を有し、前記回転台に回動自在に軸支された基板押圧部材と、(d)前記回転台の回転軸の周りの所定の回転軌跡に沿って実質的に円周状に配置された第2の磁性部材であって、前記回転軸に沿った方向への前記回転台との相対的な移動が可能な第2の磁性部材と、を備え、前記第1の磁性部材と第2の磁性部材のうち少なくとも一方は、あらかじめ磁化した磁石とされており、前記基板押圧部材には押圧面が形成されており、当該基板押圧部材は、その回動位置によって、前記基板保持部材に保持された前記基板の外縁に前記押圧面が当接することと、当接状態を脱して当該外縁を解放することとが共に可能であって、前記第2の磁性部材は、前記相対的な移動により前記第1の磁性部材に接近したときに、当該第1の磁性部材との間の磁力により、前記押圧面が前記基板保持部材に保持された前記基板の外縁に当接して押圧付勢するように、前記基板押圧部材を回動させる、回転式基板処理装置用の基板回転保持装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  B05B 13/02 ,  G11B 7/26 521 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68