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J-GLOBAL ID：200903019830864014
周期性パターンの検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小林 良平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993340843
Publication number (International publication number)：1995159342
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：
【要約】【目的】 周期性パターンを有する検査対象物の欠陥の検出において見逃しや誤認を防止する。【構成】 周期性パターンを読み取って得られる画像信号を適応型フィルタ部10に通す。適応型フィルタ部10は、エッジ検出部20の検出結果に基づき、エッジ部を表わす画像信号についてはフィルタ15に通すことによって信号の変化を緩やかにし、それ以外の画像信号についてはフィルタ15を通さずに出力する。適応型フィルタ10から出力されるこのような画像信号を使用して、1周期分だけ離れたパターンを表わす二つの画像信号の差信号を生成し、その差信号に基づいて検査対象物の欠陥を検出する。
Claim (excerpt)：
一定の周期で繰り返されるパターンを有する検査対象物の欠陥を検出する検査装置であって、前記パターンを画素毎に読み取って多値の画像信号を出力する画像入力手段と、該画像入力手段によって得られる、前記パターンを表わす画像信号と前記パターンから整数周期分だけ離れたパターンを表わす画像信号との差信号を生成する信号処理手段と、前記差信号に基づいて前記欠陥の有無を判定する判定手段とを有する周期性パターン検査装置において、a)所定画素数だけ離れた二つの画素の値の差の絶対値が所定の閾値よりも大きいか否かを判断するエッジ検出手段と、b)前記画像入力手段が出力する画像信号のうち、前記絶対値が所定の閾値よりも大きいとエッジ検出手段が判断した画像信号に対しては高域成分を遮断して出力し、前記絶対値が所定の閾値以下であるとエッジ検出手段が判断した画像信号に対してはそのまま出力して、該出力信号を前記差信号の生成に使用させる適応型フィルタ手段と、を備えることを特徴とする周期性パターン検査装置。
IPC (2)：
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