光開始剤、感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995097104
Publication number (International publication number)：1996292573
Application date： Apr. 21, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：

【要約】【目的】優れた感光特性を示す光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法を提供する。【構成】 (a)下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基を示す)で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾール化合物及び(b)芳香族メルカプト化合物を組み合わせてなる光開始剤、これを用いた感光性組成物、感光材料及びレリーフパターンの製造法。

Claim (excerpt)：

(a)下記一般式(I)【化1】(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は各々独立に、水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基又は炭素数1〜5のアルコキシ基を示す)で表される芳香族ヘキサアリールビスイミダゾール化合物及び(b)芳香族メルカプト化合物を組み合わせてなる光開始剤。

IPC (3)：

G03F 7/028 , C08F 2/50 MDN , G03F 7/029

FI (3)：

G03F 7/028 , C08F 2/50 MDN , G03F 7/029

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-164902
特開平1-223444
特開平4-355451

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