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J-GLOBAL ID：200903019862667008

感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  水谷 一良
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 中村 稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991007179
Publication number (International publication number)：1993027425
Application date： Jan. 24, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【構成】 下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。A-(SO2-SO2 -D)n (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aはn価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を示し、nは1以上の整数を示す。【効果】 高感度であり、解像力に優れている。

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-ジスルホニル基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。A-(SO2-SO2 -D)n (I)式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、Aはn価の脂肪族又は芳香族炭化水素基を示し、nは1以上の整数を示す。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-100055
  
• 特開平2-071270
  
• 特開昭61-166544
  
• 特開昭58-083844