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J-GLOBAL ID：200903019916433237

走査電子顕微鏡および類似の装置

Inventor： 赤津 光男 ,  黒目 雄三 ,  遠藤 一弥 ,  佐藤 光則
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994172283
Publication number (International publication number)：1996036979
Application date： Jul. 25, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】試料室とレンズ系を真空的に分離するエアロック弁と試料照射電流を計測するファラデーカップ装置を一体化した機構を設けることにより試料交換中に試料照射電流を測定し、X線分析時等の操作性を向上させた装置の提供を目的とする。【構成】スイッチ14をONするとファラデーカップ一体型エアロック弁が閉じファラデーカップ装置より得られた試料照射電流は電流計11に表示される。また試料交換は、弁位置センサ13a,13bが弁の開閉を検知し本体排気装置制御回路が本体排気装置を制御し、試料室10の排気及びエアリークを行う。

Claim (excerpt)：

電子ビームの発生源である電子銃と,電子ビームを試料上に細く収束させて照射するための収束レンズ系および対物レンズと,電子ビームを前記試料上で走査させる偏向電磁コイルと,前記試料を2次元または3次元移動するための空間である試料室と,前記電子銃部と電子ビームの通路および試料室内を真空排気する排気装置と,前記試料から得られる映像信号を表示手段に導入して像を得る装置において、対物レンズ絞り下に、上記電子銃,収束レンズ系と試料室を真空的に分離するエアロック弁を設け、前記弁体に試料照射電流を計測するファラデーカップ装置を一体に形成した機構を配置しエアロック弁を閉じた時に試料照射電流を計測することを特徴とする走査電子顕微鏡および類似の装置。

IPC (4)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/26 ,  H01J 37/28