Pat
J-GLOBAL ID：200903019933330085
クリーンルーム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中島 淳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999231222
Publication number (International publication number)：2001056140
Application date： Aug. 18, 1999
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：
【要約】【課題】 一方向流クリーンエリアと非一方向流クリーンエリアが併設されたクリーンルームで、設備コストの削減及び空気循環動力エネルギーの低減を図る。【解決手段】 ドライコイル36で温度を、非一方向流クリーンエリア14の熱負荷を処理可能な温度まで下げる。このため、循環回数を増やさないで、非一方向流クリーンエリア14の温度を維持できる。一方、垂れ壁34が、一方向流クリーンエリア12と非一方向流クリーンエリア14とを区画して一方向流クリーンエリア12の気流の乱れを防止し、また、一方向流用送風チャンバ44を介して、一方向流クリーンエリア12へ空気を送る。このため、一方向流クリーンエリア12には、送風チャンバ26内の温度差の大きい空気が直接吹出されない。押し込みファン46で一方向流用送風チャンバ44へ送風する空気の送風量を調整し混合し、一方向流クリーンエリア12へエリア温度に近い空気を吹出す。
Claim (excerpt)：
一方向流クリーンエリアと非一方向流クリーンエリアが併設され、各エリアの吹出口に設けられた清浄手段へ空気を送る送風チャンバと、各エリアの吸出口から空気が排出される排出チャンバと、前記排出チャンバへ排出された空気を所定の温湿度に空調する空調手段と、前記空調手段で空調された空気を前記送風チャンバへ循環させる循環手段と、を有するクリーンルームにおいて、前記空調手段で空調する空気の温度を、前記非一方向流クリーンエリアの熱負荷が処理可能な温度まで下げる空調制御手段と、前記一方向流クリーンエリアと前記非一方向流クリーンエリアとを区画する区画手段と、前記送風チャンバ内に独立して設けられ、一方向流クリーンエリアへ空気を送る一方向流用送風チャンバと、前記一方向流用送風チャンバ内へ前記送風チャンバ内の空気を送風する送風手段と、を有することを特徴とするクリーンルーム。
F-Term (6)：
3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BF03
, 3L058BF06
, 3L058BF07
, 3L058BG04
Cited by examiner (6)
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