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J-GLOBAL ID：200903019949690952

レンズ収差測定装置及びそれを用いたレンズ傾き調整装置

Inventor： 笠澄 研一 ,  佐野 晃正 ,  安田 勝彦 ,  水野 定夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 岩橋 文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999016773
Publication number (International publication number)：2000214048
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 対物レンズのコマ収差を補正するようにディスク、対物レンズ間の傾きを調整するため、実時間で光学系のコマ収差を測定できるようにする。【解決手段】 反射型回折素子3上に対物レンズ2からの光を集光し、反射光の強度分布を観察し、反射型回折素子を回折格子と垂直な方向に揺動したときのプッシュプル信号を検出する。反射光を検出する光検出器は、左右の干渉領域をそれぞれ内側外側領域と第1から第4象限に分割して、計16の領域に分割し、内側と外側の領域のプッシュプル信号の位相差からラジアル方向のコマ収差を、第1、3象限と第2、4象限のプッシュプル信号の位相差からタンジェンシャル方向のコマ収差を検出する。

Claim (excerpt)：

被測定レンズを照射するコヒーレントビームを生じるコヒーレント光源と、反射型回折格子と、前記被測定レンズの焦点位置と前記反射型回折格子の反射面が一致するように制御する焦点位置制御装置と、前記反射型回折格子と前記被測定レンズの相対位置を前記反射型回折格子の格子と直角方向に変化させる手段と、前記反射型回折格子からの反射ビームのうち、前記反射型回折格子の格子に直角な方向に分割された右側領域を通過する右ビームの中心領域の全部あるいは一部の光量を検出する第1の光量検出手段と、前記右ビームの周辺領域の全部あるいは一部の光量を検出する第2の光量検出手段と、前記反射型回折格子からの反射ビームのうち、前記反射型回折格子の格子に直角な方向に分割された左側領域を通過する左ビームの中心領域の全部あるいは一部の光量を検出する第3の光量検出手段と、前記左ビームの周辺領域の全部あるいは一部の光量を検出する第4の光量検出手段とを少なくとも具備することを特徴としたレンズ収差測定装置。

IPC (3)：

G01M 11/02 ,  G11B 7/095 ,  G11B 7/22

FI (4)：

G01M 11/02 B ,  G11B 7/095 G ,  G11B 7/095 C ,  G11B 7/22

F-Term (22)：

2G086EE02 ,  2G086EE03 ,  2G086EE06 ,  2G086HH06 ,  5D118AA06 ,  5D118BA01 ,  5D118CD02 ,  5D118CD03 ,  5D118CF08 ,  5D118CG02 ,  5D118DA35 ,  5D118DC03 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119EA02 ,  5D119EA03 ,  5D119EC50 ,  5D119JA43 ,  5D119JA70 ,  5D119KA02 ,  5D119KA20 ,  5D119PA05