Pat
J-GLOBAL ID：200903019960813314
不純物濃度分析方法およびシステム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伴 俊光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999338188
Publication number (International publication number)：2001153855
Application date： Nov. 29, 1999
Publication date： Jun. 08, 2001
Summary：
【要約】【課題】 不純物濃度が極めて低い超純水や工程水等中の不純物の濃度を、溶離操作を伴わずに容易に精度良く分析できる方法およびシステムを提供するとともに、望ましくは、その不純物の濃度分析を連続的に行って流体中の濃度変化等を精度良く監視できるようにした不純物濃度分析方法およびシステムを提供する。【解決手段】 イオン交換機能を有する官能基を持つ多孔質膜に流体を所定量通過させることにより、流体中の不純物を多孔質膜に捕捉し、多孔質膜に捕捉した不純物の量を表面分析装置で測定し、その測定値から前記流体中の不純物濃度を算出することを特徴とする、不純物濃度分析方法およびシステム。
Claim (excerpt)：
イオン交換機能を有する官能基を持つ多孔質膜に流体を所定量通過させることにより、流体中の不純物を多孔質膜に捕捉し、多孔質膜に捕捉した不純物の量を表面分析装置で測定し、その測定値から前記流体中の不純物濃度を算出することを特徴とする、不純物濃度分析方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 30/96 D
, G01N 30/00 C
