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J-GLOBAL ID：200903019967440327

垂直磁気記録型薄膜磁気ヘッド

Inventor： 柴山 優子 ,  小西 捷雄 ,  柳原 仁 ,  長友 浩之 ,  土屋 敏雄 ,  阿部 光雄 ,  植村 典夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立金属株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994241028
Publication number (International publication number)：1996106613
Application date： Oct. 05, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、ヘッドの微小、軽量化、ヘッド素子高さを最小にできる薄膜垂直磁気ヘッドのポール膜形成において、信頼性、歩留の向上を得る薄膜垂直磁気ヘッドを提供することにある。【構成】上記目的は、垂直磁気記録型薄膜磁気ヘッドのポール部分をコアおよび埋込絶縁層上に形成された微小膜厚の絶縁層上に形成し、コア上に形成したスルーホール部分でコアと接続するか、もしくはコアおよび埋込絶縁層上に形成された微小膜厚の磁性膜上にポール膜を成膜することにより達成される。

Claim (excerpt)：

磁性基板上に絶縁層を介して導体コイル、磁気コア、ポール磁性膜を順次積層してなり、前記磁気コアはコア接続部で磁性基板と磁気的に結合している垂直磁気記録型薄膜磁気ヘッドにおいて、該ポール磁性膜は前記磁気コアと磁気コアを埋め込んでいる非磁性絶縁層上の非磁性絶縁層上に成膜され、磁気コア上で該非磁性絶縁層を介して、あるいは、磁気コア上に形成したスルーホール部分で磁気コアと磁気的に接続していることを特徴とする垂直磁気記録型薄膜磁気ヘッド。