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J-GLOBAL ID：200903019988465168

集積型AFMセンサー駆動回路

Inventor： 戸田 明敏 ,  守田 和広 ,  松山 克宏
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993065135
Publication number (International publication number)：1994273159
Application date： Mar. 24, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】【目的】AFM測定中、探針周辺の測定試料あるいは測定試料台に対する電位差をほぼ零に保持することによって、両者間に測定対象以外の力が発生するのを防止する。【構成】支持部より伸びたカンチレバーの表面に、該カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化する抵抗層101と、上記カンチレバーの自由端側であって、カンチレバーに対して上記支持部とは反対側の面に配設された探針102とを具備する集積型AFMセンサー駆動回路において、AFM測定中は、探針周辺の測定試料102あるいは測定試料台に対する電位差がほぼ零となるように集積型AFMセンサーに電圧を印加する電圧調整手段R1,R2,U4,U5 をさらに具備する。

Claim (excerpt)：

支持部より伸びたカンチレバーの表面に、該カンチレバーの歪みに応じて抵抗値の変化する抵抗層と、上記カンチレバーの自由端側であって、カンチレバーに対して上記支持部とは反対側の面に配設された探針とを具備した集積型AFMセンサー駆動回路において、AFM測定中は、探針周辺の測定試料あるいは測定試料台に対する電位差がほぼ零となるように集積型AFMセンサーに電圧を印加する電圧調整手段をさらに具備したことを特徴とする集積型AFMセンサー駆動回路。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28