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J-GLOBAL ID：200903019988904935

温度補正機構を備えた走査型顕微鏡

Inventor：
鈴木克之

About 鈴木克之


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999077366
Publication number (International publication number)：2000275261
Application date： Mar. 23, 1999
Publication date： Oct. 06, 2000
Summary：
【要約】【課題】 スキャナの印加電圧に対する走査幅を毎回測定する必要がなく、スキャナの温度が変化しても正確な測定を行えるようにする。【解決手段】 コントローラ(4)によって制御された電源(5)よりスキャナ(1)に電圧を印加し、試料(3)または探針を走査して試料表面の形状や物理的特性を測定する走査型顕微鏡において、予め印加電圧に対するスキャナの走査幅を温度の関数として求めてコントローラ(4)に入力しておき、スキャナの温度を測定してコントローラに取り込み、前記関数に基づいて適正な印加電圧を求め、求めた印加電圧によりスキャナ(1)を駆動するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
コントローラによって制御された電源よりスキャナに電圧を印加し、試料または探針を走査して試料表面の形状や物理的特性を測定する走査型顕微鏡において、予め印加電圧に対するスキャナの走査幅を温度の関数として求めてコントローラに入力しておき、スキャナの温度を測定して前記コントローラに取り込み、前記関数に基づいて適正な印加電圧を求め、求めた印加電圧によりスキャナを駆動するようにしたことを特徴とする温度補正機構を備えた走査型顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30
FI (2)：
G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z
F-Term (5)：
2F069AA60 ,  2F069EE02 ,  2F069JJ01 ,  2F069JJ11 ,  2F069LL03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-152845
  • 積層型圧電アクチュエータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-138431   Applicant：京セラ株式会社
  • 特開平3-152845

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