Pat

J-GLOBAL ID：200903019997316361

固体表面元素分析装置

Inventor： 儘田 道郎 ,  土井 紘
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992006196
Publication number (International publication number)：1993190633
Application date： Jan. 17, 1992
Publication date： Jul. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 試料表面に形成された深い窪みや溝の内部の元素分析や微量不純物分析を可能とする技術を提供する。【構成】 一次粒子の照射系、試料3、二次粒子の分析系間に偏向電場を設け、一次粒子1の照射方向と二次粒子2の取り出し方向とを同一または両者の開き角を45度以下にすることにより、一次粒子1が試料3の窪みの内面と衝突した時に放出される二次粒子2を再び試料3の内面に接触させないように窪みから引き出せるようにした固体表面元素分析装置である。

Claim (excerpt)：

一次粒子の照射方向と二次粒子の取り出し方向とを同一にするか、または両者の開き角を45度以下にしたことを特徴とする固体表面元素分析装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01N 23/225