ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000100920
Publication number (International publication number)：2001281861
Application date： Apr. 03, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、高感度であり、しかも、平坦性、高解像性、現像性、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、透明性、絶縁性等の諸特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物、更には、上記諸特性と同時に低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】不飽和エチレン基を有するアルカリ可溶性アクリル系樹脂、1,2-ナフトキノンジアジド基含有化合物、架橋剤、及びシランカップリング剤を少なくとも含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。前記ポジ型感光性樹脂組成物を、塗布、第1露光、現像、第2露光、加熱処理を順次行う工程において、第2露光の光量が、第1露光の2〜15倍であることを特徴とするパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

不飽和エチレン基を有するアルカリ可溶性アクリル系樹脂、1,2-ナフトキノンジアジド基含有化合物、架橋剤、及びシランカップリング剤を少なくとも含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (16)：

G03F 7/038 501 , C08F 2/44 , C08F 2/48 , C08F299/00 , C08K 5/1515 , C08K 5/28 , C08K 5/3477 , C08K 5/5425 , C08K 5/5435 , C08K 5/548 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027

FI (17)：

G03F 7/038 501 , C08F 2/44 C , C08F 2/44 B , C08F 2/48 , C08F299/00 , C08K 5/1515 , C08K 5/28 , C08K 5/3477 , C08K 5/5425 , C08K 5/5435 , C08K 5/548 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 504 , G03F 7/022 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R

F-Term (83)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA06 , 2H025AA07 , 2H025AA08 , 2H025AA10 , 2H025AA14 , 2H025AA20 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AD03 , 2H025BC53 , 2H025BC54 , 2H025BC85 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB52 , 2H025CC04 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30 , 2H096AA00 , 2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096HA01 , 2H096HA02 , 2H096JA04 , 4J002BD124 , 4J002BG011 , 4J002BG012 , 4J002BG022 , 4J002CD013 , 4J002CD023 , 4J002CD103 , 4J002CH024 , 4J002CP024 , 4J002EL027 , 4J002EQ036 , 4J002EU187 , 4J002EX018 , 4J002EX068 , 4J002EX088 , 4J002FD143 , 4J002FD147 , 4J002FD206 , 4J002FD208 , 4J002FD314 , 4J002GP03 , 4J011AA05 , 4J011PA35 , 4J011PA43 , 4J011PA47 , 4J011PA66 , 4J011PA69 , 4J011PB30 , 4J011PB40 , 4J011PC02 , 4J011PC08 , 4J027AA01 , 4J027AA02 , 4J027BA01 , 4J027BA07 , 4J027BA17 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA03 , 4J027CA10 , 4J027CA25 , 4J027CA29 , 4J027CA31 , 4J027CB09 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CC07 , 4J027CC08 , 4J027CD10

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