Pat

J-GLOBAL ID：200903020016845546

欠陥検査装置

Inventor： 久保田 崇 ,  佐藤 俊一
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 川口 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994157488
Publication number (International publication number)：1996021799
Application date： Jul. 08, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 検査対象物体中の欠陥を検出すると共に欠陥位置を特定する欠陥検査装置を提供する。【構成】 レーザ光を発射するレーザ光発射装置1と、レーザ光の径を拡大する対物レンズ2と、拡大光を平行光束100へコリメートする第1のレンズ3と、検査対象物体4を透過した透過光101の一部を透過すると共に他の部分を反射するハーフミラー5と、透過光101の一部を後焦点面にフーリエ変換像として形成する第2のレンズ6と、正規パターンによる成分の光だけをカットして反射する反射型空間フィルタリング素子7と、透過光101の他の部分を後焦点面にフーリエ変換像として形成する第3のレンズ9と、検査対象物体4を透過した光の強度を弱める偏光板10と、第3のレンズ9のフーリエ変換面に配置されたミラー11、欠陥像と強度の小さい基板パターンとが重ね合わされた像が検出されるスクリーン8とを具備している。

Claim (excerpt)：

反射型空間フィルタリング素子を用いた欠陥検査装置であって、基板パターンを表す往路光と該往路光を光学的に演算処理することによって検出された欠陥像を表す復路光とを合成する手段を備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/66