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J-GLOBAL ID：200903020034786913

電子ビーム露光装置

Inventor： 都築 弘毅
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992126789
Publication number (International publication number)：1993299330
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 試料を試料ホルダーに設置した際に試料が傾いたり、撓んだりして露光時の位置精度が悪くなることを防ぐために、試料の傾き,撓みを修正する。【構成】 試料1の高さを高さ検出器6にて測定し、演算器8が測定結果から撓みの補正量を算出する。その値に基づいて高さ調整機構10が補助押し上げピン4の高さを調節して試料1の撓みを除去し、トータルピッチのずれ,X軸,Y軸の傾きの発生を防止する。

Claim (excerpt)：

試料ホルダーと、高さ検出器と、演算器とを有する電子ビーム露光装置であって、試料ホルダーは、上面規制板の組と、押し上げピンと、補助押し上げピンと、高さ調整機構とを有し、上面規制板の組は、試料の高さを決定するものであり、押し上げピンは、上方に付勢され、試料を上面規制板に押し当てるものであり、 補助押し上げピンは、押し上げピンで支持されていない試料の箇所を押し上げて試料の平面度を調整するものであり、高さ調整機構は、演算器の出力に基づいて補助押し上げピンを昇降させるものであり、高さ検出器は、試料ホルダーに載置された試料の高さを検出するものであり、演算器は、高さ検出器からの測定結果に基づいて高さの補正量を算出するものであることを特徴とする電子ビーム露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521